保山IPM系列

　　保山IPM系列设备的结构组成：负载锁定、转移、计量、PVD、蚀刻、灰化、岩性、植入。特点： 绿色制造、全新系列干式保山真空泵 体积小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度严苛制程的节能泵。真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵